13815103863
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| Serial Number | Product Name | Product model (part number) | Product unit |
| 1 | 基座电极 | 0190-01430 | 个 |
| 2 | 光笔 | 0190-70024 | 个 |
| 3 | MATRIX Program Card | 0101-0067 | 个 |
| 4 | CABLE ASSEMBLY 钢丝绳 | 0040-09069 | 件 |
| 5 | HEATER, ASSY, 200MM FC WXZPLUS OSCR | 0010-04542 | 个 |
| 6 | Showerhead (TEOS) | 0020-10771 | 个 |
| 7 | PIN | 0200-09035 | 个 |
| 8 | povit bearing | 0190-70075 | 个 |
| 9 | 旋转电机编码器信号线/编码器信号线/CABLE-ENCODER ASSY MOTOR | 0150-75068 | 个 |
| 10 | FLOWR SWITCH ASSEMBLY | 0150-09648/0150-09423 | 个 |
| 11 | R2 lift bellow | 0040-31844 | 个 |
| 12 | ENDURA arm bearing（大轴承） | 0190-13206 | 个 |
| 13 | MANIFOLD INPUT, SACVD | 0021-23550 | 个 |
| 14 | 机械臂/robot blade | 0010-76004 | 个 |
| 15 | 腔内lift波纹管 | 0015-09209 | 件 |
| 16 | P5000手臂信号线 | 0150-70017 | 个 |
| 17 | LIGHT PEN | 0190-13175 | 个 |
| 18 | LAM 压盘 | 857-020266-006 | 件 |
| 19 | LAMP灯泡 | 1010-01088 | 个 |
| 20 | P5000 MXP Clamp Plate | 0020-03672 | 个 |
| 21 | p5000气体分流盘 | 0020-30086 | 个 |
| 22 | Fine Metering Valve 针阀 | 3870-01249 | 个 |
| 23 | ENDURA arm wing bearing | 0190-70070 | 个 |
| 24 | Clamp | 0020-31656 | 个 |
| 25 | Sleeve Wafer Lift Pan | 0020-09843 | 个 |
| 26 | WINDOW QUARTZ | 716-011533-001 | 个 |
| 27 | GASKET,CONFLAT CRYO | 3320-01026 | 个 |
| 28 | LAM9400-遮蔽环 | 1805-320140-11 | 件 |
| 29 | 冷泵信号线 | 0620-01254 | 个 |
| 30 | AMAT Stepper Controller BD | 0100-20173 | 个 |
| 31 | 反溅腔石英钟罩 | 0040-21178 | 个 |
| 32 | MXP STD GDP | 0020-31799 | 个 |
| 33 | 薄铝垫/薄压脚 | 0020-10728 | 个 |
| 34 | WASHER #6 MOUNTING NI PLATED | 0015-09065 | 个 |
| 35 | Resistor,Ceramic | 0015-09042 | 个 |
| 36 | 陶瓷clamp | 782s-30211J | 件 |
| 37 | 3孔压环新品定制 | 716-028688-268 | 个 |
| 38 | LIFT PIN | 0020-34040 | 个 |
| 39 | blocker(teos)150mm | 0020-30447 | 个 |
| 40 | MANIFOLD OUTPUT PL | 0020-10134 | 个 |
| 41 | susceptor bellow | 0015-09055 | 个 |
| 42 | ASSY Susceptor 150MM TEOS BB | 0010-02863 | 个 |
| 43 | vespel ring 8″ | 713-028553-002 | 个 |
| 44 | 8＂window tefilon oring | 0190-09118 | 个 |
| 45 | P5K CVD气盘/CVG GAS BOX 456 PL | 0040-09091 | 个 |
| 46 | LAM9400-屏蔽环 | 1805-220177-22 | 件 |
| 47 | 8 INSULATOR WITH ANTENAE PCII反溅腔石英基座 | 0200-20055 | 个 |
| 48 | 旋转电机/rotation电机 | 0090-90002/0090-02952 | 个 |
| 49 | Feedthrough Assembly, cap sensor | 0090-09016 | 个 |
| 50 | BLOCKER PLATE 200MM | 0020-32036 | 个 |
| 51 | SHOWERHEAD（SIN） | 0020-30797 | 个 |
| 52 | Blocker PERF ORAT 气体分配盘BLOCKER 100-150mm,COMMON | 0020-30580 | 个 |
| 53 | 0020-13079OUTPUT MANIFOLD, UNIVERSAL CHMBR, W/ALIGN. HOLES | 0020-13079 | 个 |
| 54 | CHM SLIT DOOR | 0010-76083 | 个 |
| 55 | 6寸susceptor(teos) | 0010-60011 | 个 |
| 56 | Throttle阀 | 0010-37140 | 套 |
| 57 | 浮子开关 /热交换器液位传感器 | 1270-01387 | 个 |
| 58 | 石英罩 | 0200-09555 | 个 |
| 59 | 陶瓷小环/ceramic adapt on pump plate | 0200-09027/0200-09224 | 个 |
| 60 | window 上TEFLON oring | 0190-09118 | 个 |
| 61 | 手臂电路板/PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP/手臂Blade电路板 | 0100-00084 | 个 |
| 62 | 气体分配盘（133 holes） | 0020-31493 | 件 |
| 63 | 聚光环 | 0020-20430 | 个 |
| 64 | LAM4420下电极 | 715-011639-006 | 个 |
| 65 | Flatwasher 3/8 Teflon | 3880-81215 | 个 |
| 66 | 陶瓷 | 0200-10284 | 个 |
| 67 | 石英玻璃窗 | 0200-09158 | 个 |
| 68 | Tube Gas Feed | 0200-09025 | 个 |
| 69 | AMI-5000-Pen, Light | 0190-13175 | 个 |
| 70 | 信号线 J1/手臂排线 | 0150-70018 | 个 |
| 71 | RF match Cable Assembly | 0150-09054 | 个 |
| 72 | COIL,MAGNET,SYSMMETRICA 1.33*1.55 | 0090-09244 | 个 |
| 73 | Brake Assembly,Motor,Cassette Handler Storage Elevator | 0090-09010 | 个 |
| 74 | CASS MOTOR | 0090-02980 | 个 |
| 75 | EXTENSION MOTOR | 0090-02953 | 个 |
| 76 | ROBOT | 0090-02952 | 个 |
| 77 | Ring Clamping Vesel Poly | 0020-30678 | 个 |
| 78 | INSULATING WASHER | 0020-09885 | 个 |
| 79 | CVGhousing座体 | 0020-09604 | 个 |
| 80 | SUSCEPTOR | 0010-09464 | 个 |
| 81 | 8 run 6 susceptor | 0010-02864 | 个 |
| 82 | center finder 整套/光纤CFI | KZQ02 | 套 |
| 83 | mini controller | 700051 | 件 |
| 84 | 手臂旋转密封 | 3700-01485 | 个 |
| 85 | ESC HV power supply | 1140-01155 | 个 |
| 86 | 触屏光笔5v20mA | 1010-01061 | 个 |
| 87 | 针阀 | 10-00186-00 | 个 |
| 88 | SLIT_WINDOW_UV_FILTER | 0200-09772 | 块 |
| 89 | 遮蔽环 | 0200-09610 | 个 |
| 90 | CVG玻璃管 | 0200-09450 | 个 |
| 91 | silane shield陶瓷环 | 0200-09072 | 个 |
| 92 | ceramic adapt on pump plate | 0200-09027 | 个 |
| 93 | 石英观察窗 | 0200-09002 | 块 |
| 94 | P5000TEOS基座 | 0190-02863 | 个 |
| 95 | 数据线/编码器排线 | 0150-15068 | 个 |
| 96 | HEATER ASSY,AMPULE,TEOS,AMT5000,0150-09265 | 0150-09265 | 个 |
| 97 | 电路板 | 0100-00171 | 个 |
| 98 | chopper driver | 0100-00011 | 个 |
| 99 | rotation motor | 0090-75009 | 个 |
| 100 | 蚀刻机配件_DPSVDShighlevelsensor接收 | 0090-09059 | 个 |
| 101 | 蚀刻机配件_DPSVDSlowlevelsensor发射 | 0090-09053 | 个 |
| 102 | shower head/DCVD Center Hole | 0021-38119 | 个 |
| 103 | PLATE CHAMBER BLANKOFF | 0020-70203 | 个 |
| 104 | 150mm smf front 6＂ shoe | 0020-42198 | 个 |
| 105 | throttle house | 0020-32116 | 个 |
| 106 | throttle serl | 0020-31695 | 个 |
| 107 | Pumping Plate 13 Holes , Nitride | 0020-30059 | 个 |
| 108 | pumplate for silance 150mm | 0020-10403 0020-10752 | 个 |
| 109 | lift hoop 底座 | 0020-10185 | 个 |
| 110 | isolate teflon for silance（旧件） | 0020-10140 | 个 |
| 111 | CVG housing座体 | 0020-09601 | 个 |
| 112 | DOOR, I/O VALVE | 0020-09131 | 个 |
| 113 | slit 门板组件 | 0010-70323 | 个 |
| 114 | SLIT VALVE ASSY | 0010-70162 | 个 |
| 115 | throttle valve | 0010-30334 | 个 |
| 116 | ESC CONTROL BOARD | 0010-09937 | 个 |
| 117 | 基座 | 0010-01430 | 个 |
| 118 | LAM 4520 UPPER ELECTRODE | 839-011906-902 | 个 |
| 119 | 下电极保护环 | 716-011638-006 | 个 |
| 120 | QUARTZ PANFOR ROBOTENDEFFECTO | 47900038 | 个 |
| 121 | DPS ISO VALVE HEAT | 3870-02846 | 个 |
| 122 | 气动阀 | 3870-01358 | 个 |
| 123 | Valve，Pneumatic，NW40 Flange | 3870-01244 | 个 |
| 124 | P5000传输隔离阀 | 3870-01212 | 个 |
| 125 | WAVE SPRING WASHER | 3780-01091 | 个 |
| 126 | 机械手伸缩轴封 | 3700-01484 | 个 |
| 127 | 压力计 | 3310-01074 | 个 |
| 128 | 双浮子液位开关 1/2NPT | 1270-00737 | 件 |
| 129 | Power Suppiy，DC,12V Regulated | 1140-01046 | 个 |
| 130 | Power Suppiy,DC,15V Regulated | 1140-01045 | 个 |
| 131 | P5000基座高度测量专用工具 | 0270-35183 | 个 |
| 132 | MXP+GDP | 0200-10246 | 个 |
| 133 | COVER,QUARTZ,6＂ STEPPED LIFT 2,FLATTED ESC | 0200-09789 | 个 |
| 134 | COLLAR QTZ 150MM POLY | 0200-09558 | 个 |
| 135 | 导气座CVG 玻璃管石英管1 | 0200-09450 | 个 |
| 136 | 5寸压盘石英保护环 | 0200-00034 | 个 |
| 137 | MAGNET DRIVER ASSY | 0190-70060 | 个 |
| 138 | 薄膜-CVD-PECVD蝶阀(0190-63484) | 0190-63484 | 个 |
| 139 | 过滤器0190-21067 | 0190-21067 | 个 |
| 140 | Susceptor | 0190-01430 | 个 |
| 141 | 硬盘DISK DRIVE FORMATED 0160-00088W | 0160-00088W | 个 |
| 142 | EMC COMP., ASSY CABLE REMOTE 50 FOOT | 0150-76192 | 个 |
| 143 | EMC COMP., CABLE ASSY FINAL VALVE N2 FLOW INTRLOCK | 0150-76169 | 个 |
| 144 | EMC COMP., DC POWER FOOT | 0150-76168 | 个 |
| 145 | EMC COMP., ASSY CABLE REMOTE DIGITAL 50 FOOT | 0150-76167 | 个 |
| 146 | EMC COMP., ASSY CABLE REMOTE ANALOG 50 FOOT | 0150-76166 | 个 |
| 147 | 流量开关/P5000水车 | 0150-09505 | 个 |
| 148 | HARNESS AMPULE TEMP 过温开关线缆组件 | 0140-09244 | 套 |
| 149 | HARNESS ASSEMBLY,EXTENSION SENSOR CABLE | 0140-09173 | 个 |
| 150 | AMAT APPLIED HARNESS ASSY MAG POWER | 0140-09082 | 个 |
| 151 | ampule 温度信号转换板 | 0110-09109 | 个 |
| 152 | ROBOT.INTERCONNECT BD | 0100-70028/0100-76053 | 个 |
| 153 | DI/O BD/电路板 | 0100-20003 | 个 |
| 154 | MAGNET CURRENT SENSE CARD | 0100-01133 | 个 |
| 155 | P5000 Step controller motor drivercontroller电路板(throttle/wafer lift/susceptor)) | 0100-00003 | 个 |
| 156 | 花篮电机/ 2-PHASE STEPPING MOTOR | 0090-75008C/C5347-9212M | 个 |
| 157 | MOTOR ENCODER STORAGE ELEVATOR | 0090-75008 | 个 |
| 158 | 蚀刻机配件_DPSVDSlowlevelsensor接收 | 0090-09052 | 个 |
| 159 | 蚀刻机配件_DPSVDShighlevelsensor发射 | 0090-09051 | 个 |
| 160 | 气缸 | 0090-09008 | 个 |
| 161 | elevator MOTOR | 0090-02981 | 个 |
| 162 | robot extension | 0090-02593 | 个 |
| 163 | robot rotation | 0090-02592 | 个 |
| 164 | 理片腔波纹管/Endura bellows wafer orienter | 0040-20146 | 个 |
| 165 | 气体分配盘 | 0020-32259 | 个 |
| 166 | RF SHIELD COVER/腔体盖/CVD腔体射频防护盖 | 0020-31607/ 0015-09089 | 个 |
| 167 | lift hoop | 0020-31247 | 个 |
| 168 | Endura CHA/B lift 波纹管 | 0020-22910 | 个 |
| 169 | THERMOCOUPLE 8 INCH CHUCK | 0020-22414 | 个 |
| 170 | MANIFOLD WATER PL | 0020-10135 | 个 |
| 171 | plate perfect 100-150mm | 0020-10119 | 个 |
| 172 | plate connector/射频垫片 | 0020-09882 | 个 |
| 173 | gas box 隔离圈 | 0020-09875 | 个 |
| 174 | P5000 石英件圆环 石英聚焦环 绝缘环 | 0020-09742 | 个 |
| 175 | CVG铝块3manifold input | 0020-09602 | 个 |
| 176 | WINDOW A | 0020-09123 | 个 |
| 177 | 4寸ESC定制four pin | 002-00320-000-A01 | 个 |
| 178 | Gear counter | 0015-09095 | 个 |
| 179 | 腔体盖 | 0015-09089 | 个 |
| 180 | ROT motor | 0010-75010 | 个 |
| 181 | EXT MOTOR | 0010-75009 | 个 |
| 182 | HTD Tee Assembly | 0010-39556 | 个 |
| 183 | 右接收器 | 0010-20407 | 个 |
| 184 | LLA R DETECTOR/ 左接收器 | 0010-20406 | 个 |
| 185 | Blade换新 | 0010-10951 | 件 |
| 186 | ASSY LEVEL SENSE/TEMPURATURE P 0100-09108 | 0010-09779 | 个 |
| 187 | 射频匹配器 | 0010-09416 | 个 |
| 188 | LAMP MODULE ASSY,6 TEOS +4-6 | 0010-09335 | 个 |
| 189 | 气缸组件 | 0010-07849 | 个 |
| 190 | ASSEMBLY BEARING | 0010-00510 | 个 |
| 191 | window,heater | 0200-09158 | 个 |
| 192 | MFC流量计SIH4 | Sec-4400 SIH4 500sccm | 个 |
| 193 | CAS电机 | C5437-9212 | 个 |
| 194 | Assembly, Heated, Paddle, PLSH & PLTD, HDWR, 8＂ | 853-347147-008 | 个 |
| 195 | 温度传感器AC2626 L4传感器 | 853-15060-001 | 个 |
| 196 | 上电极 | 839-011906-001 | 个 |
| 197 | Disk,Q’tz Window 石英盘 | 716-028454-012 | 个 |
| 198 | 陶瓷环六孔 | 716-011563-261 | 个 |
| 199 | 金属气体分配盘 | 715-330135-003 | 个 |
| 200 | 刻蚀机配件-气体分配盘 /R, BOT GAS INJ, ESC | 715-330135-001 | 个 |
| 201 | 4寸ESC定制 4-PIN lifter（顶针） | 715-011622-101-4 | 个 |
| 202 | Lifter, Wafer 4-Pin | 715-011622-001 | 个 |
| 203 | 上电极 | 715-011531-015 | 个 |
| 204 | LAM4520 Ring Shroud | 713-11560-001 | 个 |
| 205 | LAM4520 保护环 | 713-028487-101 | 个 |
| 206 | LAM-2射频匹配控制板维修 | 710-15932-1 L | 个 |
| 207 | wafer traylong 退火炉支架 | 58900086 | 个 |
| 208 | QUARTZ TUBE 8,FOR hotliner | 58700001 | 个 |
| 209 | 动态密封圈 stroage elevator | 3700-01114 | 个 |
| 210 | 32A600V接触器 | 3460-01004 | 个 |
| 211 | MXP+顶针组件 Lift cylinder assy | 3020-01125 | 台 |
| 212 | Cassette上的气缸 | 3020-01096 | 个 |
| 213 | 花篮上支撑-气缸 | 3020-01063 | 个 |
| 214 | 1/2直4孔双用气缸 | 3020-01044 | 个 |
| 215 | P5000气体分配盘(少孔) | 18090221-001 | 个 |
| 216 | 腔体内部水平校准工具 | 1519900002 | 个 |
| 217 | 电源板 PWRSP DC+5V@5A &+12V@8.5A &-12V@6A 20 | 1140-01332 | 个 |
| 218 | VME电源 | 1140-01068 | 个 |
| 219 | MATRIX 正负电极 | 0992-40375-00/0992-70051 | 个 |
| 220 | CVD lamp 开关 | 0680-01164 | 个 |
| 221 | 40A三相空开 | 0680-01103 | 个 |
| 222 | ION GAUGE电路板/IGC BD (332134) | 0660-01647 | 个 |
| 223 | VHP Robot Zero Position Tool | 0270-20212 | 个 |
| 224 | HP Robot Zero Position Tool | 0270-20033 | 个 |
| 225 | 超温检测模块 | 0240-76087 | 个 |
| 226 | 0240-31501 KIT WAFER POSITION SENSOR OPTION 8 SLOT 200MM | 0240-31501 | 个 |
| 227 | 02-134263-00 Electro Static Chuck(ESC) 8” | 02-134263-00 | 个 |
| 228 | Novellus MOTOR Z-AXIS INDEXER | 02-034908-004 | 个 |
| 229 | DPS cathode ceramic | 0200-35287 | 个 |
| 230 | 压环 | 0200-30678 | 个 |
| 231 | p5000气体分流盘 | 0200-30086 | 个 |
| 232 | 基座环 | 0200-09216 | 个 |
| 233 | SHIELD 150MM | 0200-09021 | 个 |
| 234 | P5000 STEPPING MOTOR DRIVE PCB ASSY | 0190-70052 | 个 |
| 235 | 4 Slit Valve Plate | 0190-09662 | 个 |
| 236 | ASSY, TC, HTR, WxZ | 0190-09372 | 个 |
| 237 | P5000TEOS基座 | 0190-02863 | 个 |
| 238 | 基座 有全边/T2,Weld/新货 | 0190-01430 | 个 |
| 239 | ROBOT CALIBRATION CABLE | 0150-76116 | 个 |
| 240 | 839-011906-001上电极 | 0120100270 | 个 |
| 241 | matrix heater chuck | 0101-0501 | 台 |
| 242 | 传感器center finder sensor | 0100-76088 | 个 |
| 243 | p5000马达驱动器 | 0100-51017 | 个 |
| 244 | 视频分配板/SERIAL/VIDEO INTERCONNECT BD | 0100-20234 | 个 |
| 245 | Centura5200 | 0100-20100 | 个 |
| 246 | TC gauge PCB | 0100-20063 | 块 |
| 247 | PCB ASSY RELAY CONTROL | 0100-20038 | 个 |
| 248 | Applied Materials Systems Electronic Interface PCB | 0100-20001 | 个 |
| 249 | P5000 DIGITAL I/O 电路板 | 0100-11002 | 个 |
| 250 | CPU 8115 board | 0100-09169 | 个 |
| 251 | PCB, RS232 VIDEO INTERCONNECT BRD | 0100-09145 | 个 |
| 252 | ROBOD EXTENT SENSOR PC BOARD | 0100-09139 | 个 |
| 253 | ENCODER INTERFACE BD | 0100-09137 | 个 |
| 254 | remote WIRING DISTRIBUTION BD | 0100-09126 | 个 |
| 255 | 电路板 | 0100-09123 | 个 |
| 256 | wMINI CONTROLLER ASSY BACKPLAN | 0100-09068 | 个 |
| 257 | P5000 MINI SBC电路板 MINI SBC BORAD | 0100-09056 | 个 |
| 258 | Analog Input Board | 0100-09054 | 个 |
| 259 | P5000 PCB ASSY BUFFER I/O BD | 0100-09009 | 个 |
| 260 | pneumatic control pcb assembly | 0100-09008 | 个 |
| 261 | Stepper Control板 | 0100-00975 | 个 |
| 262 | CPU 8115 bd | 0100-00165 | 个 |
| 263 | AMAT APPLIED 0100-00014 PWB OPTO DETECTOR | 0100-00014 | 块 |
| 264 | 手臂马达 | 0090-90002 | 个 |
| 265 | ASSY ELEC VME CPU SYNERG (V21 SBC) | 0090-76110 | 个 |
| 266 | extention motor | 0090-75010 | 个 |
| 267 | 0090-09061Chopper Driver | 0090-09061 | 个 |
| 268 | Robot extension motor | 0090-09017 | 个 |
| 269 | 腔体狭缝门气缸 | 0090-09006 | 件 |
| 270 | PECVD02 加热器底部bellow | 0040-35909 | 个 |
| 271 | PECVD02 加热盘底部bellow | 0040-31998 | 个 |
| 272 | base std cathode/P5000下电极 | 0040-09005 | 个 |
| 273 | CHAMBER ETCH | 0040-09002 | 个 |
| 274 | P5000腔室/chamber wall 150mm | 0040-09001 | 个 |
| 275 | idle gear | 0020-76065 | 个 |
| 276 | buffer blade 8“ | 0020-70285 | 个 |
| 277 | 下电极 | 0020-30314 | 个 |
| 278 | ENDURA AL腔陶瓷环/Al Ch Adaptor Ceramic Insulator Ring | 0020-21664 | 个 |
| 279 | 门板/slit valve door | 0020-20340 /0010-20249 | 个 |
| 280 | PUMPING PLATE 4＂5＂6＂Teos | 0020-10764 | 个 |
| 281 | 金属环架 | 0020-10059 | 个 |
| 282 | SHOE REAR 6 | 0020-09861 | 个 |
| 283 | chamber window | 0020-09158 | 个 |
| 284 | 石英环 | 0020-03398 | 个 |
| 285 | 顶针波纹管 | 0015-09056 | 个 |
| 286 | ASSY MINI-CONTROLLER W/TEOS O | 0010-76036 | 个 |
| 287 | 6 寸cassette 载片台 | 0010-76018 | 个 |
| 288 | P5000 robot Overhaul | 0010-76000 | 套 |
| 289 | P5000 Rotation Motor | 0010-70394 | 个 |
| 290 | minicontroller 电源组件 | 0010-70157 | 个 |
| 291 | Dps foreline gauge heat | 0010-39558 | 个 |
| 292 | Rough Line | 0010-39555 | 个 |
| 293 | 高压电源 HV MODULE ESC | 0010-30091 | 个 |
| 294 | 除湿驱动 | 0010-20331 | 个 |
| 295 | ASSY, B101 MOTORIZED LIFT/加热台升降 组件 | 0010-13629 | 个 |
| 296 | 5000 PLATFORM VERSION IV AMPULE | 0010-10420 | 个 |
| 297 | ASSY LI REMOTE CONTROLLER | 0010-09886 | 个 |
| 298 | P5000匹配器维修 | 0010-09750 | 个 |
| 299 | SIN基座 | 0010-09430 | 个 |
| 300 | GAS BOX ASSY腔体上盖通气组件 | 0010-09149 | 个 |
| 301 | 气缸 | 0010-00685 | 个 |
| 302 | 磁场驱动器 | 0190-70060 | 个 |
| 303 | AO BD | 0100-11001 | 个 |
| 304 | CENTER FINDER BD | 0100-09056 | 个 |
| 305 | Chamber Interconnect BD | 0100-09099 | 个 |
| 306 | SEI BD | 0100-20001 | 个 |
| 307 | STEPPER BD | 0100-00003 | 个 |
| 308 | AMPULE Heater BD | 0090-09061 | 个 |
| 309 | TC 温控盒 BD | 0100-09033/0100-09032 | 个 |
| 310 | CAP SENSOR AMP BD | 0100-00084 | 个 |
| 311 | ROBOT BLADE6寸 | 0010-76004 | 个 |
| 312 | ROBOT BLADE 8寸 | 0040-09098 | 个 |
| 313 | ROBOT | 0010-09029 | 个 |
| 314 | DOOR PLATE | 0020-10202 | 个 |
| 315 | 花篮下支撑 | 0010-70001 | 个 |
| 316 | 花篮- | 0010-76018 | 个 |
| 317 | 6寸金属花篮 | 0010-09052 | 个 |
| 318 | 8寸金属花篮 | 0010-09271 | 个 |
| 319 | Storage Elevator Assembly | 0010-09049 | 个 |
| 320 | LIFT、SUS机械机构 | 0010-01430 | 个 |
| 321 | ZAI Slit Door | 0190-09662 | 个 |
| 322 | 0045-09003 | 0045-09003 | 个 |
| 323 | 工业显示器光笔 | 1010-01061/0190-13175 | 个 |
| 324 | Cassette、Elevator电机 | 0090-75008c/0090-75008 | 个 |
| 325 | 腔体CVG | 0020-09601 | 个 |
| 326 | 鼓风机 | G2E140-AC13-0 | 个 |
| 327 | SLIT VALVE-(0010-70162) | 0010-70162 | 个 |
| 328 | ZAI Slit （0190-09533） | 0190-09533 | 个 |
| 329 | THROTTLE VALVE-(0015-09077)(0010-30334) | 0015-09077/0010-30334 | 个 |
| 330 | 截止阀-(3870-01212) | 3870-01212 | 个 |
| 331 | 腐蚀阀-（0010-30334） | 0010-30334 | 个 |
| 332 | 喷射阀(0190-36237) | 0190-36237 | 个 |
| 333 | 灯座组件/Lamp Module Assembly(0010-09335) | 0010-09335 | 个 |
| 334 | DOPANT AMPULE ASSEMBLY(0010-10420) 6 | 0010-10420 | 个 |
| 335 | 水车流量计-(0150-09607) | 0150-09607 | 个 |
| 336 | lamp drive (0190-09395) | 0190-09395 | 个 |
| 337 | 温控盒（0010-21740） | 0010-21740 | 个 |
| 338 | Mini Controller Assembly（0010-76036） | 0010-76036 | 个 |
| 339 | 高压模块 (0010-30091) | 0010-30091 | 个 |
| 340 | 磁场驱动器(0190-70060) | 0190-70060 | 个 |
| 341 | RF 射频(660-024637-002) | 660-024637-002 | 个 |
| 342 | MATCH(0010-09750) | 0010-09750 | 个 |
| 343 | 腔体 Inter Lock (0150-09884) | 0150-09884 | 根 |
| 344 | ROBOT –J1- J2信号线(0150-70018) | 0150-70018 | 根 |
| 345 | ENCODER信号线 (0150-75068/0150-11367) | 0150-75068/0150-11367 | 根 |
| 346 | P5000SIN基座（0190-01430） | 0190-01430 | 个 |
| 347 | P5000TEOS基座（0190-02863） | 0190-02863 | 个 |
| 348 | LAM 4520 UPPER ELECTRODE（839-011906-902） | 839-011906-902 | 个 |
| 349 | clamp plate（0020-31656） | 0020-31656 | 个 |
| 350 | 压盘LAM4520（713-028487-001） | 713-028487-001 | 个 |
| 351 | SOLATOR,TEFLON 150MM TEOS（0020-10140） | 0020-10140 | 个 |
| 352 | 陶瓷压环（0200-09224） | 0200-09224 | 个 |
| 353 | 石英环-(0020-09742) | 0020-09742 | 个 |
| 354 | 6/8寸陶瓷顶针-(0200-09035) | 0200-09035 | 个 |
| 355 | 陶瓷小环（0200-09027） | 0200-09027 | 个 |
| 356 | C/S手臂(1380-000929-11) | 1380-000929-11 | 个 |
| 357 | 设备L3510陶瓷手臂(16734-02) | 16734-02 | 个 |
| 358 | Screw Vepel-10#32(0020-09963) | 0020-09963 | 个 |
| 359 | (1021-0003) | 1021-0003 | 个 |
| 360 | CVD全氟O ring | 3700-01425；0030-09350；0030-09036；3700-01358；3700-01205；3700-01210) | 个 |
| 361 | HYBRID-SEAL-ASSY-HEATER-WINDO | 0190-09151/0190-09118) | 个 |
| 362 | 轴封密封圈 | 3700-01114/3700-01484 3700-01357/3700-01485) | 个 |
| 363 | (853-021260-001) | 853-021260-001 | 个 |